梅西C. Kimerling
- 材料科学与工程的托马斯教授勋爵亚博网站首页
- SB冶金,麻省理工学院,1965年
- 冶金博士,麻省理工学院,1969年
- 13-4118
- lckim@mit.edu
电子材料;纳米技术;光子材料
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金柏林教授的研究活动涉及固体缺陷和电亚搏娱乐网页版登陆子材料加工的基础科学。亚博网站首页他所有的课程都强调材料科学和应用。亚博网站首页他在麻省理工学院亚搏娱乐网页版登陆关于硅处理的研究已经解决了光伏电池环保集成电路的制造问题。本研究的成果包括:建立了晶圆沾污吸收的过程模拟装置;亚搏娱乐网页版登陆硅表面缺陷超灵敏测量新方法的研制发现一种表面钝化方法以减少制造过程中的清洗步骤;以及湿法化学过程控制现场诊断工具的开发。他的团队的微光子学研究取得了一系列前所未有的成果,目标亚搏娱乐网页版登陆是用集成微电子电路芯片实现光互连的单片集成。本研究利亚搏娱乐网页版登陆用具有高折射率对比度的材料体系,发展了亚微米级的光学结构。他在这一亚搏娱乐网页版登陆领域的研究成果包括掺杂稀土的半导体的光电子物理和材料加工,最终形成了第一个室温操作的掺铒硅发光二极管; the monolithic integration of MOSFET driver circuitry with Si:Er LEDs and Si/SiO2 waveguides; the process development silicon optical waveguides to yield low loss microphotonic signal distribution; the fabrication and demonstration of the first waveguide-integrated microcavity resonators based on photonic crystal designs at a wavelength of 1.54 microns; the fabrication and demonstration of optical add/drop microphotonic circuits for high capacity WDM data distribution based on microring resonator filter junctions; and the process development and testing of high performance, heteroepitaxial Ge-on-Si photodetectors for microphotonic applications.
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