MEMS(微机电系统)

微机电系统,或微机电系统，是小型的机械或机电设备和结构。

亚搏娱乐网页版登陆研究人员

Klavs f·詹森

化学工程教授;材料科学与工程教授亚博网站首页

材料化学;MEMS(微机电系统);纳米技术;表面、界面和薄膜;迁移现象

卡尔·汤普森诉

斯塔夫罗斯·萨拉帕塔斯材料科学与工程教授;亚博网站首页麻省理工学院材料研究实验室(MRL)主任亚搏娱乐网页版登陆

电化学;电子材料;能量储存;材料的力学行为;MEMS(微机电系统);纳米技术;表面、界面和薄膜

哈里·l·图尔

席梦思陶瓷与电子材料教授

陶瓷;电化学;电子材料;能源;环境;材料加工;材料化学;MEMS(微机电系统);纳米技术;光子材料; Semiconductors; Surfaces, Interfaces, and Thin Films; Thermodynamics; Transport Phenomena